[12a-N306-1~9] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [12a-N306-6] Al_xO_y触媒担持層の酸化状態制御によるカーボンナノチューブフォレストの長尺・高密度化

〇田中 佑一郎¹、前谷 光顕¹、林 皓鷺¹、鈴木 弘朗¹、西川 亘¹、林 靖彦¹ (1.岡大院自然)

キーワード：カーボンナノチューブ

カーボンナノチューブ(CNT)が基板上に長尺・高密度に成長したCNTフォレストの合成時には触媒粒子の移動や凝集などの触媒粒子の構造変化が起こる．CNTフォレストの合成中に進行する触媒粒子の構造変化を抑えるために，触媒粒子の担持層である酸化アルミニウム(Al_xO_y)層の成膜条件に着目した．Al_xO_y成膜時の酸素分圧とCNTフォレストの成長との関係を触媒粒子構造，担持層の膜構造及びCNTフォレスト構造の解析により報告する．