[12a-N402-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[12a-N402-1] エアロゾルデポジションによる酸化物高温超伝導体Bi₂Sr₂Ca₂Cu₃O_y薄膜の作製と評価

〇奥村 優一¹、佐藤 祐喜¹、吉門 進三¹ (1.同大理工)

キーワード：エアロゾルデポジション、超伝導体