[12a-N402-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

△ [12a-N402-5] IBAD基板を用いたFF-MOD法RE123薄膜の作製

〇瀬川 雄大¹、元木 貴則¹、小澤 美弥子¹、中村 新一²、本田 元気³、永石 竜起³、小林 慎一³、下山 淳一¹ (1.青学大理工、2.TEP、3.住友電工)

キーワード：超伝導、薄膜

様々なREBa₂Cu₃O_y (RE123)超伝導薄膜の化学的な作製方法のなかでも、フッ素フリー(FF)-MOD法は比較的単純な固相反応により2軸配向薄膜が短時間で成長できる点で、量産化に最も適している。そこで本研究では、FF-MOD法を用いて長尺化可能な2軸配向中間層を有するテープ状金属金属IBAD基体(CeO₂/LaMnO₃/MgO/LaMnO₃/Al₂O₃/Hastelloy)上でのRE123薄膜の作製において、I_cの改善に向けた焼成条件の最適化を進めている。