[12a-N406-1~10] 15.3 III-V-group epitaxial crystals, Fundamentals of epitaxy

[12a-N406-10] Multi-category classification of RHEED patterns using machine learning

〇JINKWAN KWOEN¹, Yasuhiko Arakawa¹ (1.NanoQuine, U. Tokyo)

Keywords:RHEED, Machine Learning

反射高速電子線回折は MBE 成長中の試 料表面挙動をその場観察できるため広く使われている。特に、RHEED パターンは試料の温度・材料の供 給量および供給比などにより動的に変化するため、成長条件較正のマイルストーンとしても使われて きた。しかし、RHEED パターン解析は実施者の蓄積されたノーハウに依存するため、フィードバック制御は困難であった。我々は Convolutional Neural Networkを用いた機械学習法で GaAs 基板上への GaAs/InAs の MBE 成長で RHEED 像を収集し、分類モデルを立てることで、多カテゴリーの分類に成功したので報告する。