[12a-S401-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[12a-S401-2] MOD法によるV_1-xCr_xO₂ (x = 0.01~0.15) 薄膜の作製と特性評価

〇(M2)落合 佑多¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大 電気電子、2.高純度化学研)

キーワード：半導体、酸化物エレクトロニクス、薄膜