[12p-N106-1~11] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[12p-N106-3] Fabrication and characterization of a silicon phononic waveguide with piezoelectric transducers

〇Megumi Kurosu¹, Daiki Hatanaka¹, Hajime Okamoto¹, Hiroshi Yamaguchi¹ (1.NTT BRL)

Keywords:nanomechanics, phonon, phonon waveguide

フォノン導波路において、その動作を非線形領域に拡張することで、安定した伝搬が期待されるソリトン波や弾性波コムなどが実現可能となり、フォノンデバイスの性能向上に繋がる。そのような導波路はGaAs系材料では実現が困難であり、より優れた圧電材料やトランスデューサの利用が必要となる。今回、優れた圧電特性を有するPZTをトランスデューサとして組み込んだSiフォノン導波路を作製し、その伝搬特性を評価検討したので報告する。