[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-10] 大気圧非平衡プラズマの３次元的制御による多孔質TiO₂膜の作製と色素増感太陽電池への応用

〇長尾 優輝¹、眞弓 慎司¹、澤村 南斗¹、奥谷 昌之¹ (1.静岡大院工)

キーワード：非平衡二次元プラズマ、色素増感太陽電池、誘電体バリア放電

本研究グループでは、大気圧非平衡二次元プラズマを利用した金属酸化物の製膜を行っている。前回、チタニウム(Ⅳ)テトライソプロポキシド(TTIP)を原料とし、多孔質TiO₂層の作製、および色素増感太陽電池(DSSC)への応用を報告した。本研究では、プラズマへ磁場を印加することでその3次元的制御を行うとともに、雰囲気制御により多孔質TiO2層を作成し、DSSCの高効率化を試みた。