2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

2021年9月12日(日) 13:30 〜 16:45 N203 (口頭)

田中 勝久(京大)、中村 吉伸(東大)、中塚 理(名大)

16:30 〜 16:45

[12p-N203-12] キレートフレーム法で作製した酸化マグネシウム断熱膜の熱伝導率

徐 若暉1、小松 啓志1、中村 淳1,2、伊藤 治1,2、齋藤 秀俊1 (1.長岡技術科学大学、2.中部キレスト)

キーワード:キレートフレーム法、酸化マグネシウム断熱膜、熱伝導率