[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-2] 高配向前駆体を用いたトポタクティック変態によるCo-Fe-Ga合金膜の配向制御

〇大野 悠太¹、山田 啓介¹、嶋 睦宏¹ (1.岐阜大院自)

キーワード：Co-Fe-Ga合金、トポタクティック変態、配向制御

共沈法、333 Kで3日間の低温熱処理、スピンコーティング、アニール処理によって作製したCo-Fe-Ga(CFG)合金膜の配向制御と磁気特性を調べた。XRD測定の結果，CFG合金膜は高い(110)配向性を有していることがわかった。これは、前駆体、スピネル酸化物、CFG合金の各相に類似したイオンおよび原子配列が存在することから、高配向CFG合金膜の形成メカニズムにはトポタクティック変態であることが示唆された。