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[12p-N205-8] 磁性ナノ粒子を用いたトナー型印刷による高精細パターニング方法の確立
キーワード:プリンテッドエレクトロニクス、トナー型印刷、磁性ナノ粒子
当研究室ではトナー型印刷プロセスとして、金属材料などのパターニングに成功してきたが、実用化に向けて更なる高精細化と十分なトナー堆積が必要となる。本研究では、Agナノ粒子に多量のNiナノ粒子を配合し磁性を持つ流体のようにした現像剤を用いる。これにより、トナーの平均粒径を小さく安定的に維持できる効果が期待される。結果、高精細な櫛型電極を描画することができた。