2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12p-N206-1~19] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2021年9月12日(日) 13:00 〜 18:15 N206 (口頭)

杉山 睦(東理大)、片山 司(北大)、神野 莉衣奈(東大)

15:45 〜 16:00

[12p-N206-11] 多光子励起フォトルミネッセンス法によるβ-Ga2O3結晶の三次元イメージング

西河 巴賀1、塚越 真悠子1、後藤 健2、村上 尚2、熊谷 義直2、谷川 智之1、上向井 正裕1、片山 竜二1 (1.阪大院工、2.農工大)

キーワード:酸化ガリウム、多光子励起フォトルミネッセンス、非破壊評価技術