[12p-N206-1~19] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[12p-N206-17] ZnドープMgO薄膜の発光特性

〇高坂 亘¹、小川 広太郎^2,1、金子 健太郎³、山口 智広¹、藤田 静雄³、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大学、2.オーク製作所、3.京都大学)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、真空紫外線、カソードルミネッセンス

ミストCVD法により、ZnドープしたMgO薄膜をMgO基板上に成長した。CL測定によって、MgO基板上のZnドープMgOの発光特性を評価した結果を報告する。