[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 水熱合成法による分極軸配向した(Bi,K)TiO₃薄膜の電気特性

〇伊東 良晴^1,2、舘山 明紀²、窪田 るりか²、白石 貴久²、黒澤 実²、舟窪 浩² (1.日大、2.東工大)

キーワード：非鉛強誘電体、薄膜、水熱合成

(Bi,K)TiO₃は鉛を含まないAサイト複合ペロブスカイト構造を有する正方晶強誘電体である。この物質はAサイトにBi, Kのような蒸気圧の高い元素を含むため、特性の良好な薄膜合成の報告は少ない。そこで我々は、低温合成法の1つである水熱合成法に着目した。(Bi,K)TiO₃薄膜は、基材と膜の格子整合性から(Bi,K)TiO₃と面内格子定数が近い(100)_cSrRuO₃//(100)SrTiO₃基板上に作製した。本研究では、水熱合成した(Bi,K)TiO₃膜の結晶構造および電気特性評価について報告する。