[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

△ [12p-N301-10] 化学溶液プロセスによるYドープHZO薄膜の作製と評価

〇佐々木 啓介¹、モヒート モヒート¹、徳光 永輔¹ (1.北陸先端大)

キーワード：強誘電体、ハフニウム系強誘電体、半導体