2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N301 (口頭)

安井 伸太郎(東工大)、恵下 隆(和歌山大)

17:15 〜 17:30

[12p-N301-15] 化学溶液堆積法により作製したZrO2を基とするHfO2-ZrO2薄膜の評価

岡元 良平1、船窪 浩2、内田 寛1 (1.上智大、2.東工大)

キーワード:強誘電体薄膜、酸化ハフニウム、化学溶液堆積法