2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N301 (口頭)

安井 伸太郎(東工大)、恵下 隆(和歌山大)

14:00 〜 14:15

[12p-N301-3] 正方晶(1-x)(Bi,Na)TiO3- xBaTiO3エピタキシャル膜の結晶構造及び電気的特性の組成依存性

〇(D)石濱 圭佑1、清水 荘雄1,2、佐藤 祐介3、山岡 和希子3、鶴丸 理沙子3、吉村 真太郎3、舟窪 浩1 (1.東工大物院工、2.物・材機構、3.TDK株式会社)

キーワード:非鉛圧電材料、強誘電体、薄膜

近年、圧電センサ等の薄膜MEMS応用が注目される中、PZTに代表される有害な鉛系圧電材料の代替材料の開発が強く求められている。非鉛圧電材料である(Bi, Na)TiO3-BaTiO3はMPB組成近傍でよく研究されてきたが、他組成での研究報告数は未だ少ない。今回我々は広い組成領域における (Bi, Na)TiO3-BaTiO3エピタキシャル膜の作製に成功し、それぞれの膜において強誘電特性及び圧電特性を確認したためそれを報告する。