[12p-N301-1~15] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [12p-N301-3] Composition dependencies of crystal structure and electrical properties of epitaxial tetragonal (1-x)(Bi,Na)TiO₃- xBaTiO₃ films.

〇(D)Keisuke Ishihama¹, Takao Shimizu^1,2, Yusuke Sato³, Wakiko Yamaoka³, Risako Tsurumatu³, Shintaro Yoshimura³, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech., 2.NIMS, 3.TDK corp.)

Keywords:Lead-free piezoelectric material, Ferroelectric, Thin film

近年、圧電センサ等の薄膜MEMS応用が注目される中、PZTに代表される有害な鉛系圧電材料の代替材料の開発が強く求められている。非鉛圧電材料である(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃はMPB組成近傍でよく研究されてきたが、他組成での研究報告数は未だ少ない。今回我々は広い組成領域における (Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃エピタキシャル膜の作製に成功し、それぞれの膜において強誘電特性及び圧電特性を確認したためそれを報告する。