2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[12p-N304-1~14] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:15 N304 (口頭)

東 悠介(キオクシア)、小池 淳一(東北大)

17:00 〜 17:15

[12p-N304-14] Quantitative evaluation on barrier property of ultra-thin PVD-Co(W) films against Cu diffusion by the time-lag method

〇(D)Yubin DENG1、Taewoong Kim1、Momoko Deura1、Takeshi Momose1、Akira Matsuo2、Nobuo Yamaguchi2、Yukihiro Shimogaki1 (1.The Univ. of Tokyo、2.CANON ANELVA CORP.)

キーワード:Barrier property, Quantitative evaluation