[12p-N403-1~14] 11.5 Junction and circuit fabrication process, digital applications

[12p-N403-12] Effects of surface oxide film on Nb electrode controlled by neutral beam on superconducting resonators

〇(M2)Taichi Konno¹, Daisuke Ohori¹, Mutsuo Hidaka³, Shuichi Noda³, Kazuhiko Endo³, Hiroto Mukai⁴, Akiyoshi Tomonaga^4,5, Jaw Shen Tsai^4,5, Seiji Samukawa^1,2 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.AIMR, Tohoku Univ., 3.AIST, 4.TUS, 5.RQC, RIKEN)

Keywords:qubit, superconductivity, niobium

量子ゲート加工時や回路加工時に表面に生じるNb酸化層には、絶縁体のNb₂O₅と金属的な性質を有するNbOやNbO₂などのサブオキサイドがある。そのサブオキサイドが含まれたジョセフソン接合を作製すると、良好な特性の接合ができないことが知られている。そこで本研究では、酸素中性粒子ビームを用いた酸化を行い、表面酸化膜質の制御を行うことで高い共振周波数のQ値が得られる最適なNb表面酸化条件を検討した。