[12p-N403-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[12p-N403-12] 中性粒子ビームにより制御されたNb電極表面酸化膜が超伝導共振器に与える影響

〇(M2)紺野 太壱¹、大堀 大介¹、日高 睦夫³、野田 周一³、遠藤 和彦³、向井 寛人⁴、朝永 顕成^4,5、蔡 兆申^4,5、寒川 誠二^1,2 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.産総研、4.東理大、5.理研RQC)

キーワード：量子ビット、超伝導、ニオブ

量子ゲート加工時や回路加工時に表面に生じるNb酸化層には、絶縁体のNb₂O₅と金属的な性質を有するNbOやNbO₂などのサブオキサイドがある。そのサブオキサイドが含まれたジョセフソン接合を作製すると、良好な特性の接合ができないことが知られている。そこで本研究では、酸素中性粒子ビームを用いた酸化を行い、表面酸化膜質の制御を行うことで高い共振周波数のQ値が得られる最適なNb表面酸化条件を検討した。