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[12p-N404-12] Detection of Laser Damage on Optical Thin Films Using Artificial Intelligence
Keywords:artificial intelligence, image classification, object detection, optical thin film
レーザー装置を構成する多くの光学部品は光学薄膜が施されている。その光学薄膜に損傷があるとレーザー性能が低下するため、損傷有無の確認作業は必須である。人工知能の分類、物体検出を用いて確認作業に時間がかかる大型レーザーの確認作業効率の向上を目指す。損傷したレンズの撮影およびデータセットを作成し、最適モデルの作成をした。特に損傷の大小をしっかり捉えることを意識して物体検出に取り組んでいる。