[12p-S402-1~14] 12.6 ナノバイオテクノロジー

△ [12p-S402-1] 化学ペンを用いた位置選択的微小金ワイヤの作製

〇西谷 祐貴¹、河西 奈保子²、中嶋 秀¹、加藤 俊吾¹、毛 思鋒¹ (1.都立大都市環境、2.都立大大教セ)

キーワード：化学ペン、金ナノワイヤ

微小ワイヤは被表面積が大きいことから高感度センサとしての応用が期待されている。我々はこれまで化学ペンを用いた微小銀ワイヤの作製およびそのセンサ応用について検討してきた。化学ペンは、リソグラフィを用いることなく、任意の位置にマイクロメートル以下のパターンを描画できる手法である。本研究では化学ペンを用いた微小金ワイヤの作製の基本技術として、描画システムの構築および微小金ワイヤの作製条件の検討を行った。