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[13a-N103-3] 二重周期構造を持つ直交伝搬導波モード共鳴バンドパスフィルタの基礎検討
キーワード:導波モード共鳴フィルタ
導波モード共鳴フィルタは,透明基板上の導波路にサブ波長周期グレーティングを集積して構成され、通常サブnmの狭帯域特性のために数百µmのフィルタ開口が必要である。本研究では,微小開口の狭帯域バントパスフィルタとして,二重周期をもつ二次元グレーティング構造を提案・検討した。85 µmサイズ開口へ45 µm径ガウシアンビームを入射する条件で,最大透過率96%,半値全幅0.5 nmの透過スペクトルを有限差分時間領域法により確認した。