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[13a-N103-5] Silicon-Polymer Hybridリング共振器の作製と評価
キーワード:リング共振器
これまでにシリコン導波路や窒化シリコン導波路の高Q値リング共振器を応用した四光波混合(FWM)現象が報告されているが、有機非線形光学の応用はさらなる高効率な波長変換性能が期待できる。本研究では、高Q値のシリコンリング共振器の作製と非線形光学ポリマーを組み合わせたSilicon-Polymer Hybrid(SPH)光デバイスを作製し、光学評価を行った。作製したSPHリング共振器は、最大Q値2.8×104を得ることができた。