[13a-N205-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

[13a-N205-11] ITO膜内応力の制御による透明有機ELデバイスの性能の改善

〇末森 浩司¹、福田 伸子¹、鎌田 俊英¹ (1.産総研)

キーワード：膜内応力、透明有機デバイス、透明酸化物電極

有機デバイスは、透明酸化物電極と組み合わせることで透明化が可能となり、その応用展開が大きく広がる。しかしながら、有機デバイスに透明酸化物電極を形成すると、デバイス内にダメージが発生し、デバイスの電気特性が低下することが知られている。今回は、透明酸化物電極内の応力を制御することでダメージが軽減され、透明有機デバイスの高性能化が可能となることを明らかとしたので報告する。