[13a-N302-1~10] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[13a-N302-3] Study on etching process of organic semiconductors by using electrostatic spray method

〇Sayaka Hiruta¹, Masaki Kobayashi¹, Rei Mizoguchi¹, Masahiro Kashiwazaki¹, Norio Onojima¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:organic transistor, etching

静電スプレー堆積法を用いてTIPS pentacene/PMMAブレンド膜を堆積し，良好なトランジスタ特性が得られることを報告しているが，さらなる特性向上のためには，キャリア移動度を低下させる要因である寄生抵抗の低減が重要である．そこで今回，静電スプレー法を用いてTIPS pentaceneを部分的にエッチングすることを試みた．その結果，静電スプレーの条件によりエッチング速度の制御が可能であることがわかった．