2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

12 有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.1 作製・構造制御

[13a-N302-1~10] 12.1 作製・構造制御

2021年9月13日(月) 09:30 〜 12:15 N302 (口頭)

松原 亮介(静大)、廣芝 伸哉(大阪工大)

10:00 〜 10:15

[13a-N302-3] 静電スプレー法による有機半導体のエッチングプロセスの検討

蛭田 紗佳1、小林 雅季1、溝口 嶺1、柏崎 正篤1、小野島 紀夫1 (1.山梨大工)

キーワード:有機トランジスタ、エッチング

静電スプレー堆積法を用いてTIPS pentacene/PMMAブレンド膜を堆積し,良好なトランジスタ特性が得られることを報告しているが,さらなる特性向上のためには,キャリア移動度を低下させる要因である寄生抵抗の低減が重要である.そこで今回,静電スプレー法を用いてTIPS pentaceneを部分的にエッチングすることを試みた.その結果,静電スプレーの条件によりエッチング速度の制御が可能であることがわかった.