[13a-N304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[13a-N304-10] チャージポンピングEDMRを用いたシリコントランジスタ中のヒ素ドナー電子の検出

〇堀 匡寛¹、小野 行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：チャージポンピング、電子スピン共鳴、ヒ素ドナー