[13a-N304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[13a-N304-7] 微小磁石埋め込み構造によるスピン量子ビットの高速動作と集積化

〇飯塚 将太¹、加藤 公彦¹、八木下 淳史¹、浅井 栄大¹、上田 哲也¹、岡 博史¹、服部 淳一¹、池上 努¹、福田 浩一¹、森 貴洋¹ (1.産総研)

キーワード：シリコンスピン量子ビット、埋め込み配線技術、ばらつき耐性

シリコンスピン量子ビットの動作速度を高速化し、かつ高い製造ばらつき耐性を有する量子ビットと微小磁石の集積方法を提案し、それをシミュレーションにより検討した。微小磁石を量子ビットの側方下部に埋め込むことで、量子ビット近傍の微小磁石が生じる大きな傾斜磁場により、動作速度は従来比で約10倍となる。また、自己整合プロセスにより形成された微小磁石は、リソグラフィ装置の位置ずれに対して高いばらつき耐性をもつ。