[13a-N306-1~11] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

△ [13a-N306-3] NO₂ gas response of electron carrier conduction in ambipolar carbon nanotube field-effect transistors fabricated using dielectrophoretic assembly

〇Shota Nakahara¹, Morita Takahiro¹, Takuya Okamoto¹, Haruka Omachi², Masafumi Inaba¹, Michihiko Nakano¹, Junya Suehiro¹ (1.Kyushu Univ., 2.Nagoya Univ.)

Keywords:carbon nanotube, gas sensor, nitrogen dioxide

カーボンナノチューブ(CNT)は、その高い比表面積から、ガスセンサへの応用が期待されている。半導体単層CNTを用いたセンサを酸化性ガスに暴露すると、コンダクタンスが上昇することが報告されている。我々は、半導体単層CNTを誘電泳動集積法によりチャネル部に集積した両極性電界効果トランジスタを作製し、NO₂暴露によるI_DS-V_GS特性の変化を調査してきた。今回、電子伝導領域でのNO₂暴露によるI_DS-V_GS特性の変化に着目した。