[13a-N306-1~11] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [13a-N306-3] 誘電泳動集積法を用いて作製した両極性CNTFETの電子伝導領域におけるNO₂応答

〇中原 正太¹、森田 貴大¹、岡本 拓也¹、大町 遼²、稲葉 優文¹、中野 道彦¹、末廣 純也¹ (1.九大シス情、2.名大物質センター)

キーワード：カーボンナノチューブ、ガスセンサ、二酸化窒素

カーボンナノチューブ(CNT)は、その高い比表面積から、ガスセンサへの応用が期待されている。半導体単層CNTを用いたセンサを酸化性ガスに暴露すると、コンダクタンスが上昇することが報告されている。我々は、半導体単層CNTを誘電泳動集積法によりチャネル部に集積した両極性電界効果トランジスタを作製し、NO₂暴露によるI_DS-V_GS特性の変化を調査してきた。今回、電子伝導領域でのNO₂暴露によるI_DS-V_GS特性の変化に着目した。