[13a-N321-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

[13a-N321-2] 円形欠陥共振器フォトニック結晶レーザ構造の オゾンクリーニングによる電気特性改善

〇宮崎 駿輔¹、左 如氷¹、葉 漢嶠¹、森藤 正人¹、梶井 博武¹、丸田 章博¹、近藤 正彦¹ (1.阪大院工)

キーワード：半導体、フォトニック結晶、レーザ

これまでの研究で作製した試料では電気特性の目標値を達成できておらず、光学測定においてレーザ発振を確認することができていない。電気抵抗が高い原因として上面の電極と基板の界面に抵抗物があり、それが非常に小さい電流注入領域で大きな抵抗値になっていると考えられる。そこで、本研究では抵抗物を有機物と考え上面デバイスの電極作製プロセスの直前にオゾンクリーニングを行い、電気特性および光学特性の評価を行った。