2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマナノテクノロジー

[13a-N323-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

2021年9月13日(月) 09:00 〜 12:00 N323 (口頭)

小川 大輔(中部大)、内田 儀一郎(名城大)

11:00 〜 11:15

[13a-N323-7] Cu基板上のカーボンナノウォール成長に対するDCバイアス印加効果

竹内 皓紀1、竹田 圭吾1、平松 美根男1 (1.名城大理工)

キーワード:カーボンナノウォール、CVD