[13a-N323-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [13a-N323-9] 変調誘導熱プラズマ＋冷却ガス間歇供給法における異なる冷却ガス供給位相でのナノ粒子生成に関する数値解析的検討

〇古川 颯大¹、長瀬 有理奈¹、田中 康規¹、中野 裕介¹、石島 達夫¹、末安 志織²、渡邉 周²、中村 圭太郎² (1.金沢大自然、2.日清製粉)

キーワード：変調熱プラズマ、数値解析、ナノ粒子生成

筆者らは，パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)に原料粉体の時間制御供給(TCFF)法を組み合わせた独自手法によるSiナノ粒子生成に対する数値解析モデルを構築してきた．このモデルではPMITPに対する電磁熱流体解析に加え，原料粉体の挙動とナノ粒子の核生成と成長を計算できる．本報では本モデルを用い，PMITPのコイル電流変調に対して，冷却ガス(QG)までも間歇導入することを検討し，さらにその供給位相の生成ナノ粒子の粒径への影響を検討した．