[13a-S201-1~9] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[13a-S201-2] Improvement mechanism of gas sensing response of ZnO films by Mg alloying

〇Yutaka Adachi¹, Taku Suzuki¹ (1.NIMS)

Keywords:gas sensor, surface reaction, adsorbed oxygen

ZnOのガスセンサ特性はMg添加により向上することがこれまでにいくつか報告されているが、そのメカニズムは明らかではない。本研究では、配向性、面内方向結晶粒径、表面モフォロジー、膜厚がほぼ同じで、Mg添加濃度のみが異なるZnO薄膜を作製し、そのガス・センシング特性を測定することにより、Mg添加によるセンサ特性向上のメカニズムを明らかにすることを試みた。