[13a-S203-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-S203-5] NaClO溶液の酸化作用を利用した菱面体晶LaCuO₃薄膜の作製

〇浅沼 周太郎¹ (1.産総研)

キーワード：LaCuO3、PLD、NaClO

LaCuO₃は高温超伝導銅酸化物と似た構造を持ちながら、200気圧以上の高圧O₂雰囲気でしか焼成出来なかったため十分な研究が行われて来なかった。一方、近年、NaClO溶液を用いて酸化物の酸素欠陥を埋める手法が考案され、高圧プロセスを用いずに化学量論的組成のSrCoO₃等のコバルト酸化物が作製されている。この手法を応用して高圧プロセスを用いずに化学量論的組成に近いLaCuO₃を作製することに成功したのでその結果について報告する。