[13p-N105-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

[13p-N105-14] 内部モード結合によって誘発されたGaAsMEMS梁共振器の共振周波数シフト

〇福田 喬治¹、張 亜¹、諸橋 功²、平川 一彦^3,4 (1.農工大工、2.情報通信研究機構、3.東大生研、4.東大ナノ量子機構)

キーワード：MEMS、共振器、テラヘルツ

高次の共振モードが励起されたときのGaAsMEMS梁共振器の共振周波数シフトを測定することによってモード結合効果を調査しました。