[13p-N105-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

[13p-N105-3] 矩形型空洞共振器を集積したTHz共鳴トンネルダイオード発振器の作製と評価

〇藤方 秀成¹、韓 非凡¹、小林 和憲¹、田中 大基¹、鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ、共鳴トンネルダイオード

RTD発振器は小型かつ室温動作可能なデバイスであり、THz光源として有力視されている。一方で、その出力は比較的小さく更なる高出力化が求められている。高出力発振が期待できる矩形型空洞共振器を用いたデバイスが提案されているが、MIMキャパシタが必要なため作製が困難であり動作は達成していない。そこで、新しく構造簡略化した空洞共振器構造を提案・作製し、矩形型空洞共振器で初めてTHz発振を達成したので報告する。