[13p-N301-1~18] 6.6 Probe Microscopy

[13p-N301-2] Performance improvement of SICM probe by KOH wet etching

〇Riku Yajima¹, Shinji Watanabe² (1.Kanazawa Univ., 2.WPI-NanoLSI)

Keywords:scanning probe microscope, glass nanopipette

走査型イオン伝導顕微鏡で探針として使用されるガラスナノピペットにおいて、ナノ開口直径（ID）と先端の外径/内径（OD/ID）比は性能を決定する重要な要素である。IDの制御は比較的容易であるのに対し、OD/ID比の制御は困難である。本研究では、IDが小さく、かつOD/ID比が1に近い探針を水酸化カリウムのウェットエッチングを利用して作成したことを報告する。