[13p-N301-1~18] 6.6 プローブ顕微鏡

[13p-N301-2] 水酸化カリウムウェットエッチングによるSICM探針の性能改善

〇矢島 陸¹、渡辺 信嗣² (1.金沢大院ナノ生命、2.金沢大WPI-NanoLSI)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、ガラスナノピペット

走査型イオン伝導顕微鏡で探針として使用されるガラスナノピペットにおいて、ナノ開口直径（ID）と先端の外径/内径（OD/ID）比は性能を決定する重要な要素である。IDの制御は比較的容易であるのに対し、OD/ID比の制御は困難である。本研究では、IDが小さく、かつOD/ID比が1に近い探針を水酸化カリウムのウェットエッチングを利用して作成したことを報告する。