[13p-N302-1~12] 12.1 作製・構造制御

△ [13p-N302-5] トランジスタ応用を目指したイオン性液晶薄膜の作製

〇(M2)小松 陽花¹、丸山 伸伍¹、神永 健一¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：イオン性液晶、薄膜、真空蒸着

ゲート絶縁層にイオン液体を用いた電気二重層トランジスタは、低電圧駆動が可能で広範囲なキャリア制御性を持つため注目されている。イオン液体を用いたトランジスタ素子の微細化・集積化にはイオン液体のナノ薄膜化が必要だが、ピンホール等のない均一な液体ナノ薄膜の作製は容易ではない。そこで本研究では、2次元的な層状構造を示すイオン性液晶（ＩＬＣ）に着目し、高品質なＩＬＣ薄膜を作製するためのプロセスを検討した。