2:15 PM - 2:30 PM
[13p-N306-4] [Highlight]Patterning and Sensing Applications of Suspended, 2D, Micro-scale CNT film array
Keywords:Carbon nanotube, Terahertz, Non-destructive inspection
我々はこれまでの研究において、カーボンナノチューブ(CNT)膜における光熱起電力効果を検出原理としたテラヘルツ(THz)帯ソフトセンサーを開発し、多様な非破壊品質検査応用を報告してきた。今回我々は、センサーの材料であるCNT自立膜をマイクロサイズで2次元配列する自己整合成膜技術を確立し、任意形状に合わせて切り貼り可能なTHzカメラパッチシートを開発したのでこれを報告する。