[13p-N306-1~9] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[13p-N306-4] 【注目講演】マイクロスケールのCNT自立膜２次元アレイ成膜法とセンサー応用

〇鈴木 大地¹、寺崎 正¹ (1.産総研)

キーワード：カーボンナノチューブ、テラヘルツ、非破壊検査

我々はこれまでの研究において、カーボンナノチューブ（CNT）膜における光熱起電力効果を検出原理としたテラヘルツ（THz）帯ソフトセンサーを開発し、多様な非破壊品質検査応用を報告してきた。今回我々は、センサーの材料であるCNT自立膜をマイクロサイズで２次元配列する自己整合成膜技術を確立し、任意形状に合わせて切り貼り可能なTHzカメラパッチシートを開発したのでこれを報告する。