[13p-N323-1~14] CS.11 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス、15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎のコードシェアセッション

[13p-N323-14] 非平衡大気圧リモートプラズマCVDを用いたグラフェンの形成過程

〇酒井 勇佑¹、竹田 圭吾¹、平松 美根男¹ (1.名城大理工)

キーワード：グラフェン、CVD