[13p-N323-1~14] CS.11 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス、15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎のコードシェアセッション

[13p-N323-7] スパッタリングSi系ナノ構造薄膜を負極材としたLiイオン電池の特性評価

〇山田 輝也¹、羽生 侑真¹、林 純希¹、永井 健太¹、木賀 海青¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大学理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、リチウムイオン電池