[13p-N323-1~14] CS.11 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス、15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎のコードシェアセッション

[13p-N323-8] 金ナノ粒子プラズモンによるシリコンの低ダメージラジカル酸化

〇渡邉 一叶¹、北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防大電子)

キーワード：プラズモン