[13p-S202-1~9] センサ融合に向けたセンサ集積技術

[13p-S202-2] 【注目講演】FBARを用いた高感度小型においセンサモジュールの開発

〇恩田 陽介¹、佐藤 和紀¹、高野 貴之¹、坂下 武¹、齋藤 彰¹、宮﨑 正彦¹、服部 将志¹、西原 時弘¹、伊藤 浩之² (1.太陽誘電株式会社、2.東京工業大学)

キーワード：においセンサ、圧電薄膜共振器、温湿度補償

高感度で小型なにおいセンサモジュールを実現するため、薄膜圧電共振器(Film Balk Acoustic Resonator, FBAR)の適用検討を進めている。今回、CMOS技術を用いた発振/周波数検出ICを開発することで、小型なにおいセンサモジュールを実現したので報告する。また、複数の感応膜を用いたマルチチャンネルによるにおい識別、FBARの構造最適化と独自のアルゴリズムによる温湿度補正についても報告する。