[13p-S202-1~9] Sensor-Integration Technologies for Sensor Fusion era

[13p-S202-6] MEMS-LSI Integrated Tactile Sensor Network System and Its Expansion to Edge Heavy Sensing

〇Masanori MUROYAMA¹ (1.Tohoku Inst. Tech.)

Keywords:MEMS-LSI Integration, Tactile Sensor, Edge Heavy Sensing

半導体技術をコア技術とした触覚センサならびにエッジヘビーセンシング（EHS）について講演する。まず，MEMS-LSI集積化触覚センサデバイスをウェハレベルで多数個作製しシリアルバスネットワーク接続したシステムについて概観する。その発展形として，提案するセンサ・プラットフォームLSIを利用した多種原理・多数個配置のセンシングと，得られたデータから情報や知恵へと昇華して利用するEHSについて紹介する。