[13p-S202-1~9] センサ融合に向けたセンサ集積技術

[13p-S202-6] MEMS-LSI集積化触覚センサネットワークシステムとエッジヘビーセンシングへの展開

〇室山 真徳¹ (1.東北工大)

キーワード：MEMS-LSI集積化、触覚センサ、エッジヘビーセンシング

半導体技術をコア技術とした触覚センサならびにエッジヘビーセンシング（EHS）について講演する。まず，MEMS-LSI集積化触覚センサデバイスをウェハレベルで多数個作製しシリアルバスネットワーク接続したシステムについて概観する。その発展形として，提案するセンサ・プラットフォームLSIを利用した多種原理・多数個配置のセンシングと，得られたデータから情報や知恵へと昇華して利用するEHSについて紹介する。