[13p-S301-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[13p-S301-14] Adhesion and durability of DLC coating as biomaterials

〇Yutaka Nakamura¹, Kazushige Namiki², Masanori Hiratsuka³, Yasushi Ishiguro¹, Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.Namiki-Mi Co., 3.Nanotec Co.)

Keywords:amorphous carbon thin film, medical device, durability

生体と接触をともなう検査機器は、DLCコーティングを施すことで患者が感じる不快感や痛みの低減に期待ができる。また、DLCコーティングを医療デバイスに施す場合、適切な膜厚とコストで安定した耐久性が要求される。本研究では、プラズマCVD法によりSUS基板に膜厚を変化させたDLC膜を成膜した。そして、医療デバイスに必要な機械的強度や滅菌洗浄の耐久性を評価し、医療デバイスに適切な膜厚を選定できるようにする。